有机铟源的应用开发研究

讨论了三甲基铟在光电新材料中的应用，同时介绍了三甲基铟在应用于ＭＯＣＶＤ工艺中质量输入过程中变化的原因及克服这些问题的方法。本文还介绍了新的有机铟源的制备及应用情况。