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CVD法制备陶瓷材料的进展 被引量:5

Development of Making Ceramics with CVD Process
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摘要 本文简单介绍了CVD的基本原理,评述了CVD在制备超细粉、高纯致密涂层/薄膜、高熔点高强度高模量陶瓷纤维/晶须。 The article introduces briefly the basic theory of CVD,reviews the application of CVD in making ultrafine powders,fibers/whiskers with high melting point and high strength and high modulus,high-purity and dense coatings/films and bulk ceramics.
机构地区 浙江大学材料系
出处 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期36-39,52,共5页 Bulletin of the Chinese Ceramic Society
关键词 CVD 涂层 陶瓷材料 沉积 CVD,ultrafine powders,fibers/whiskers,coatings/films,bulk ceramics
  • 相关文献

参考文献2

  • 1Chang J K,Thin Solid Films,1990年,189卷,161页
  • 2Dong D,J Electrochem Soc,1978年,25卷,819页

同被引文献61

引证文献5

二级引证文献14

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