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HEHS压力传感器项目通过科技部专家验收

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摘要 西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题一一“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前顺利通过国家科技部专家组验收。
出处 《自动化技术与应用》 2006年第4期I0008-I0008,共1页 Techniques of Automation and Applications

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