PVD设备

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摘要 Sigma fxP是一种单片式设备组，设计应用于批量PVD工艺。溅射淀积系统的工艺腔是在标准设计的基础上，通过简单地技术升级和晶圆尺寸转化而来的。主要的应用于后道和微／纳米技术。

出处《集成电路应用》 2006年第5期45-45,共1页 Application of IC

关键词设备 PVD VD工艺设计应用 SIGMA 标准设计晶圆尺寸技术升级纳米技术单片式

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集成电路应用

2006年第5期

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