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紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法

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摘要一种紫光发射增强的氧化锌薄膜的制备方法，采用磁控溅射方法制备，其步骤包括：用99．99％或纯度更高的金属锌掺入光谱纯的金属镉作为阴极的溅射锌靶，阳极和真空室相连，将溅射锌靶焊接到紫铜底板上；将清洗后的基底装在基底夹具上，

出处《无机盐工业》 CAS 北大核心 2006年第5期3-3,共1页 Inorganic Chemicals Industry

关键词氧化锌薄膜制备方法光发射磁控溅射金属镉金属锌真空室基底光谱

分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学] TN204 [电子电信—物理电子学]

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无机盐工业

2006年第5期

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