新型钯栅MOS型集成氢敏传感器及其应用

A New Pd - MOS Integrated Hydrogen Sensor and It's Application

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摘要本文叙述该传感器的基本工作原理、主要参数及测试方法。 The basic operating principles, main parameters and test methods of the hydrogen sensor are described as well as the main uses and extensive market are introduced in this paper.

作者邹德恕王东风陈建新

机构地区北京工业大学电子工程系

出处《传感器世界》 1996年第4期18-21,共4页 Sensor World

关键词钯栅MOS晶体管集成氢敏传感器传感器晶体管 Pd-MOSFET, Intergrated Hydragen Sensor

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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