期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
MEMS技术
被引量：
1
下载PDF
职称材料
导出
摘要
本文简要介绍微机电（MEMS）技术。希望通过本文的介绍能让读者对其技术特征和发展趋势有初步的了解。
作者
沈培宏
机构地区
华东电子集团中央研究院
出处
《光电技术》
2006年第1期13-17,共5页
关键词
MEMS
TRANSDUCER
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH-39 [机械工程]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
6
引证文献
1
二级引证文献
1
同被引文献
6
1
宋永刚,秦会峰,胡利方,鲁晓莹,孟庆森.
硼硅玻璃与硅阳极键合机理分析[J]
.兵器材料科学与工程,2006,29(4):5-7.
被引量：5
2
展明浩,宋同晶,皇华,王文婧,陈博.
基于ICP的硅高深宽比沟槽刻蚀技术[J]
.电子科技,2012,25(8):77-79.
被引量：6
3
钟建,顾可可,于军胜,吴援明,黄江.
薄膜太阳能光伏器件工艺制备及测试实验教学平台[J]
.实验技术与管理,2014,31(6):183-185.
被引量：5
4
王芳,姚明秋.
不同阳极键合结果的影响因素研究[J]
.科技风,2015(2):14-15.
被引量：2
5
杨拥军.
划时代的MEMS加工技术[J]
.国防制造技术,2009(5):36-38.
被引量：6
6
王亚珍,朱文坚.
微机电系统(MEMS)技术及发展趋势[J]
.机械设计与研究,2004,20(1):10-12.
被引量：26
引证文献
1
1
李东玲,尚正国,佘引,王胜强.
MEMS加工技术综合性实验[J]
.实验技术与管理,2017,34(7):95-98.
被引量：1
二级引证文献
1
1
盛文军,王志海.
不锈钢压力传感器芯体研制[J]
.传感器与微系统,2020,39(4):89-91.
被引量：3
1
何小元,杨汉国,吴劲松.
AN IMPROVED CALIBRATION METHOD FORDYNAMIC CHARACTERISTICSOF STRAIN GAUGE[J]
.Journal of Southeast University(English Edition),1995,11(2):111-115.
2
金家楣.
A Novel Traveling Wave Ultrasonic Motor Using a Bar Shaped Transducer[J]
.Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science),2008,23(6):961-963.
被引量：4
3
Wolfson推出世界上高性能的超小型MEMS麦克风[J]
.微纳电子技术,2009,46(4):254-254.
4
LIZhiquan.
Grating Angular—movement Transducer Using a Fabry—Perot Structure[J]
.Semiconductor Photonics and Technology,1996,2(4):307-311.
5
李文,朱泽琪.
Monitoring Method for the Electrical Properties of Piezoelectric Transducer[J]
.Defence Technology（防务技术）,2012,8(3):188-192.
6
袁毅,杨思华.
Reflection-mode photoacoustic microscopy using a hollow focused ultrasound transducer for in vivo imaging of blood vessels[J]
.Chinese Physics B,2012,21(5):283-287.
7
张晓晶.
微纳米级硅显微操纵传感集成器械研究在生物医学领域的新进展[J]
.中国机械工程,2005,16(z1):36-38.
8
吴书朝,黄玉,范淑华,罗俊.
Measurement of the Floor Tilt in Experimental Determination of the Gravitational Constant[J]
.Chinese Physics Letters,2003,20(8):1210-1213.
9
穆兆辉,Li Weidong,Liu Rao.
Research & design on the drive system of nuclear fuel manipulate crane[J]
.High Technology Letters,2014,20(4):446-450.
10
JIANG Dong,LIU Xukun,WANG Deyu,YANG Jiaxiang.
Analysis of sensitivity and errors in Maglev vibration test system[J]
.Instrumentation,2016,3(1):70-78.
被引量：24
光电技术
2006年 第1期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
