扩散硅压力传感器的漂移补偿模型的建立

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摘要扩散硅压力传感器的漂移补偿模型的建立上海大学自动化学院４９号信箱（上海：２０００７２）郎文鹏，赵维琴，闻国富，黄环轩引言由于传感器的精确度及可靠性对整个仪表系统的精度产生致命的影响，因而要设计高精度仪表，必须选择较为可靠及静态、动态性能均能满足要求的...

作者郎文鹏赵维琴闻国富黄环轩

机构地区上海大学自动化学院

出处《工业仪表与自动化装置》 1996年第4期15-16,共2页 Industrial Instrumentation & Automation

关键词压力传感器传感器扩散硅漂移补偿

工业仪表与自动化装置

1996年第4期

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