摘要
在Ar气氛中于SnO2薄膜表面溅射一层很薄的金属钯。用SEM、AES及XPS等分析表明,Pd在SnO2表面以三维束状小岛方式生长,热处理后Pd迅速扩散到SnO2膜内,形成掺杂型的气敏元件。在元件的表面存在大量的化学吸附氧,低温下(~160℃)对极为稳定的CH4有很高的灵敏度,认为可能与低温下吸附氧主要为α氧(O-2)有关。
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
1996年第4期347-349,共3页
Journal of Functional Materials
基金
国家自然科学基金