钽铝合金薄膜工艺的正交试验

钽铝合金薄膜由于具有优良的热稳定性而适合制作薄膜功率型电阻网络。薄膜制备工艺条件对薄膜的电性能有很大的影响。该论文介绍了一种正交试验方法以获取最佳工艺条件。根据正交试验的算法，用ＦＯＲＴＲＡＮ语言编写了优化程序，在微机上进行了数据处理。用所选取的最佳工艺条件制出了性能优良的钽铝薄膜中功率衰减器，从而证实了正交试验法是行之有效的。