摘要
本文根据微加速度计的结构特点,分析了单晶硅的力学特性,并且利用有限元方法对微电容式加速度计敏感芯片弹性梁的刚度、应力、应变进行了分析。
This paper introduces the elasticity matrixes of mono crystalline silicon in different coordinate systems, and carries out the FEM static analysis of the mechanical properties of micromachined capacitive accelerometers.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第9期15-17,共3页
Instrument Technique and Sensor
关键词
微电容
加速度计
有限元
静力分析
Micromachined, Capacitive, Accelerometer, Analysis.
