摘要
从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
A model of a micro-actuator with torsion beam, and the analytical formulae are derived for analysis of pull-in phenomena. The effect of the structural parameters on pull-in phenomena is discussed, and analytical results are given for the certain device. The ratio of pull-in angle to the maximum travel angle is 44.04%, and which is not correlative with the parameters of torsion beam.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2006年第5期251-253,共3页
Micronanoelectronic Technology
基金
跨世纪优秀人才培养计划基金
吉林省科技发展计划资助项目(20010319)
国家科技部"863计划"资助项目(2002AA312020)
吉林大学研究生创新基金资助项目(501038)
关键词
微驱动器
静电驱动
扭臂
pull—in现象
micro-actuator
electrostatically actuated
torsion beam
pull-in phenomena
