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采用MEMS技术的硅振荡器具有高稳定性和低成本

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摘要 SiRes系列硅振荡器包括SiT1xxx固定频率及SIT8002可编程频率的硅振荡器，采用MEMS First及EpiSeal CMOS兼容工艺生产，体积比石英振荡器的体积小1000倍，每年的老化程度为±2×10^-6．

出处《今日电子》 2006年第5期89-89,共1页 Electronic Products

关键词石英振荡器 MEMS技术高稳定性成本器具硅 CMOS兼容固定频率

分类号 TN752.2 [电子电信—电路与系统]

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