摘要
以苯乙烯蒸气作为聚合反应单体，在射频低气压等离子体中形成聚合物薄膜，研究了残留于等离子体反应室中的空气杂质对等离子体聚合过程及薄膜结构的影响，并讨论了消除这种影响的可能途径。
出处
《真空科学与技术》
CSCD
1996年第2期130-133,共4页
Vacuum Science and Technology
基金
国家自然科学基金
同被引文献13
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