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磷化铟的碱性氧化剂及热稳定性研究

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摘要 研究了磷化铟单晶片在各种不同碱性溶液中的氧化情况,在此基础之上,提出了一种新的氧化剂,用NaOH-H2O2碱金属离子催化氧化机制来解释InP在碱性溶液中的氧化现象。使用Ruthetford背散射谱对经上述试剂氧化的样品及未经处理的InP抛光片做了对比实验,同时还作了该种氧化物的热稳定性研究。
作者 蒋伟
出处 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第5期360-363,共4页 Vacuum Science and Technology
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