类金刚石(DLC)膜的制备技术概况被引量：17

A Review of Deposition Processes of DLC Films

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摘要综述了类金刚石膜的制备方法,以及各种制备方法的基本原理和特点,并分析了各种方法对膜的结构和性能的影响。 Deposition processes of DLC films and their basie principles and characteristics are reviewed in this paper. The effect of the process on the pro-perties of DLC films is analyzed.

作者程宇航吴一平陈建国乔学亮

机构地区华中理工大学材料系

出处《材料导报》 EI CAS CSCD 1996年第2期38-42,共5页 Materials Reports

关键词类金刚石薄膜沉积技术 DLC,films,deposition process

分类号 TB43 [一般工业技术]

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