摘要
报导了电子材料研究在我国的新进展，包括体晶硅；体化合物半导体；外延半导体薄膜；新颖SOI（Silicon－on-Insulator）材料及敏感材料。
New progress on Iesearch of electronic materials in China was reported,including the bulk crystal silicon;bulk compound semiconductors;epitaxial semiconductor films;novelSilicon-on-Insulator (SOI) materials and sensing materials.
出处
《上海金属》
CAS
1996年第5期7-12,共6页
Shanghai Metals
关键词
半导体材料
研究
中国
Bulk Crystal Silicon, Bulk Compound Semiconductor,Epitaxial Semiconductor Film,SOI Material, Sensing Material
