BO型超低阻靶材的研制

1 概况 自从1972年John chapin发明了平面磁控管溅射技术以后,磁控溅射开始几乎都是为各种集成电路服务的,直到八十年代初才移植到金属膜电阻器的成膜上来,我国自八十年代末期相继从美国、日本引进了十余条磁控溅射镀膜机。