CM系列显微镜用新型5轴自动测角器

1.引言 透射电子显微镜(TEM)有三个主要构件:电子枪;物镜和测角器。每一构件的不稳定都会降低显微镜的性能,既影响高分辨率TEM图像,也会在微探针分析时产生漂移。其中测角器及其样品台的性能取决于高真空技术、机械精度和稳定性。手动测角器已较好地运行了很多年。