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金属薄膜制备及物性测量系列实验 被引量:13

A group of experiments of metal film preparation and physical property measurement
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摘要 介绍了由模拟真空实验和“金属薄膜的制备”、“金属薄膜厚度的测量”、“金属薄膜电阻率的测量”,以及“金属薄膜生长过程的动态监测”等4个实验组成的金属薄膜制备与物性测量系列实验.这组实验与现代科学技术发展联系紧密,仪器设备可靠,操作简单,适合于普通物理实验阶段的研究性教学. A group of experiments of metal film preparation and physical property measurement, consisting of vacuum experimefit, metal film preparation, film thickness measurement, film resistivity measurement and film resistance dynamic measurement experiments, were developed to attempt rearch based teaching in the general physical experiment course. These experiments have close relationship with modern science and technology. The equipments are reliable and easy to be operated, suitable to rearch based teaching in the general physical experiment course.
出处 《大学物理》 北大核心 2006年第5期39-41,共3页 College Physics
基金 国家工科物理基础课程教学基地项目 北京科技大学教研基金资助项目
关键词 金属薄膜 普通物理实验 研究性教学 metal film general physical experiment rearch based teaching
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参考文献3

二级参考文献7

共引文献40

同被引文献83

引证文献13

二级引证文献112

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