摘要
本文介绍了InSb薄膜制备工艺技术的研究成果,系统地阐述了InSb薄膜的工艺机理与制备技术,指出了制备InSb薄膜过程中所需解决的技术关键,并总结了制备InSb薄膜的工艺条件和实验结果.
This paper introduces the research results of InSb thin film fab-rication processes, systematically elaborates the key techniques and mechanism of InSb thin film fabrication, and presents the process conditions and experiment results.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1996年第2期18-21,共4页
Instrument Technique and Sensor
关键词
薄膜
磁敏元件
制备工艺
InSb, Thin Film,Process,Magnetie Element
