摘要
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称 CVD)技术是表面改性的重要手段之一。本文论述了 CVD 的基本原理及影响其过程的主要因素;同时对化学气相沉积技术在工程材料中的应用,尤其是在最近几年发展起来的梯度功能材料方面的应用进行了阐述,并简要论述了 CVD 技术的发展趋势。
The paper studies the fundmentaIs,characteristies and technical factors of CVD,and explores the development of CVD in mechanical engineering materials.At the same time,the paper also briefly discusses CVD developing trend in the furture.
关键词
CVD
工程材料
薄膜
CVD technique
mechanical engineering-materials
practical use
