摘要
概述了最近纳米级研磨技术的研究动态,同时介绍了研磨技术的原理、应用和优势,结合该方向的最新研究成果提出其近期的研究发展方向。
The current states of nanometer lapping technology are introduced. The principle, application and advantage of lapping technology are described. The development trend of lapping technology is indicated.
出处
《新技术新工艺》
2006年第5期10-13,共4页
New Technology & New Process
基金
国家自然科学基金重点项目(50535040)资助
关键词
纳米级
研磨技术
发展动向
nanometer level, lapping technology, development
