用于应变硅和化合物半导体的锗前驱物
摘要
随着Ge重要性的提高,需要寻找比GeH4更适用的前驱物。本文对用于应变Si和化合物半导体集成电路的两种新型Ge前驱物的品质特性进行了探讨。
出处
《集成电路应用》
2006年第6期22-23,共2页
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