离子注入机中行星传动扫描靶的设计
Design of Planet Transmission Scanning Target in Ion Implantation Machine
摘要
将行星传动机构应用于离子注入机中,使得受注物体受注均匀,明显提高了产品的表面质量。
出处
《机械工程师》
2006年第6期93-93,共1页
Mechanical Engineer
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