摘要
本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。
The paper presents the constitution features and experimental results of deflection system of the DY-5 electron beam exposure machine.
出处
《电工电能新技术》
CSCD
北大核心
1996年第3期38-42,53,共6页
Advanced Technology of Electrical Engineering and Energy
关键词
电子束暴光机
偏转系统
亚微米
electron beam exposure machine,deflection system
