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采用剪切干涉和虚拟光栅的三维形貌检测 被引量:5

3-D SHAPE MEASUREMENT USING SHEARING INTERFEROMETRY & VIRTUAL GRATING
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摘要 本文提出一种新型三维形貌测量方法,该方法通过投影装置将剪切干涉条纹投射到物体表面,以获取调制光栅图。采用相位法,由计算机生成虚拟接收光栅,从一幅调制光栅图重建物体形貌。文中给出了实验结果和性能分析。 A novel approach to measure and reconstruct the shape of 3-D objects is presented.Themethod is based on the principle of phase-measuring profilometry with shearing interferometryinstrument and virtual grating。The 3-Dshape is reconstructed from an image of deformed fringes.Experimental results and a performance analysis are presented.
机构地区 暨南大学物理系
出处 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第5期468-474,共7页 Acta Photonica Sinica
基金 国务院侨办重点学科科研基金
关键词 剪切干涉 虚拟光栅 解调 三维形貌检测 Shearing interferometry Virtual grating Demodulation
  • 相关文献

参考文献1

  • 1杨国光,近代光学测试技术,1986年

同被引文献37

引证文献5

二级引证文献14

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