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原位氧化制备氧化锌薄膜及其表征 被引量：1

The Preparation and Characterization of ZnO Films by in situ Oxidation of Zn Films
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摘要 在云母基底上热蒸镀锌膜,再采用简单的原位氧化方法制备氧化锌薄膜.研究发现氧化锌膜上表面具有纳米尺度的丛生珊瑚状结构,而与云母接触的下表面具有圆饼状结构. Smooth ZnO thin films have been obtained by in situ oxidation of Zinc films on mica surfaces. The formation of coral-like nano-structures was revealed on the top surface of ZnO films, while the existence of disk-like micro-structures was found on the inner surface that attached on mica.
作者 金兰 周辉 章琦 徐伟
机构地区 复旦大学材料科学系
出处 《复旦学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期391-395,共5页 Journal of Fudan University：Natural Science
基金 国家自然科学基金(60171008)资助项目 教育部跨世纪优秀人才培养计划基金资助项目 上海市科学技术委员会纳米专项基金(0214nm005 0452nm087)资助项目
关键词 ZNO薄膜 原位氧化 纳米结构 Zinc oxide film in situ oxidation nano-stucture
分类号 O621.23 [理学—有机化学] O475 [理学—半导体物理]
  • 相关文献

参考文献13

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二级参考文献5

共引文献28

同被引文献14

引证文献1

二级引证文献4

复旦学报（自然科学版）
2006年 第3期

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