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多晶硅薄膜材料与器件研究进展
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摘要
多晶硅薄膜材料一直在半导体领域扮演着重要的角色。综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、制备方法及研究进展。
作者
熊家国
机构地区
武汉理工大学
出处
《国外建材科技》
2006年第3期8-10,共3页
Science and Technology of Overseas Building Materials
关键词
多晶硅薄膜
多晶硅薄膜器件
应用
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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Haji L,Jobert P.J Appl phys,1994,75(8):3944.
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Kenji,Yzmamoto.Lpn J Appl phys.1997,36(4):569.
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饶瑞,徐重阳.
多晶硅薄膜材料与器件研究进展[J]
.材料导报,2000,14(7):25-26.
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屠海令.纳米集成电路用硅及硅基材料的研究进展[P].中国有色金属学会长五届学术年会论文集,2003,(8):170~174.
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1
1
Mei P,J Appl Phys,1994年,76卷,8期,3194页
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1
宋学萍,王佩红,孙兆奇.
射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究[J]
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.能源工程,2002(4):28-31.
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.材料导报,2000,14(7):25-26.
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张健,林广平,张睿,崔国宇,李传南.
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.光学精密工程,2012,20(1):58-63.
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来五星,廖广兰,史铁林,杨叔子.
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.现代化工,2015,35(5):25-29.
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国外建材科技
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