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射频磁控溅射法制备TiO_2薄膜的拉曼光谱 被引量：5

Raman Spectroscopy of Titania Thin Films by RF Magnetron Sputtering
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摘要 采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测。通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索。 Titania（TiO2 ） thin films are prepared by radio-frequency （RF） magnetron sputtering. The crystal structure and growth mode are studied by Raman spectrum and atomic force microscopy （AFM）.
作者 赵丽特 叶勤 丁瑞钦
机构地区 五邑大学数理系 暨南大学物理系
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F05期89-90,共2页 Materials Reports
基金 国家自然科学基金项目(20171018)的子课题
关键词 TIO2薄膜 磁控溅射 拉曼光谱 晶体结构 生长方式 titania （TiO2） thin films, RF magnetron sputtering, Raman spectrum, crystal structure, growth mode
分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] O484.41 [理学—固体物理]
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献12

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共引文献42

同被引文献32

引证文献5

二级引证文献15

材料导报
2006年 第F05期

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