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工艺流程中的凸点检测

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摘要 在制作球形焊料凸点过程中,每一道工艺流程后都采用多种检测技术来捕捉凸点缺陷,这些目前已在生产中广泛应用。
出处 《集成电路应用》 2006年第7期41-44,共4页 Application of IC
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