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直径为2mm电磁型微电动机的研究 被引量:9

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摘要 运用微细加工方法研制新颖直径为2mm,速度可调的电磁型微电动机,并讨论了电磁型微电动机的驱动原理和制备方法。
作者 张寿柏 张琛
出处 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第9期133-136,146,共5页 Journal of Shanghai Jiaotong University
  • 相关文献

参考文献4

  • 1张琛,微米纳米科学与技术,1995年,1卷,1期,40页
  • 2赵小林,微细加工,1995年,3期,44页
  • 3Chong H Ahn,Proc 7th IEEE Wordshop on MEMS,1993年
  • 4Fan L S,IEEE Trans Electron Devices,1988年,75卷,724页

同被引文献52

引证文献9

二级引证文献56

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