摘要
本文介绍了制作小型ＣＯ２激光管专用真空系统的设计和它的真空工艺。给出了高真空系统线路图和相关的真空技术参数。
A design of high vacuum system and technology for making mini CO2 laser tube is reported in this paper. The circuit diagram of high vacuum systrm and the relevantparameters of vacuum technology are given also.
出处
《黑龙江大学自然科学学报》
CAS
1996年第1期88-91,共4页
Journal of Natural Science of Heilongjiang University
