VC系列真空度测试仪

VC系列真空度测试仪采用冷阴极磁控管放电法测量原理，如图1所示。该方法把被测的真空灭弧室本身作为磁控管，将真空灭弧室置于电磁线圈的中心，当线圈通电时，则产生轴向磁场，同时，在分开的触头电极之间施加数千伏的直流电压，就可产生一种可测的放电效应。直流高压建立的电场在触头附近呈弧状，其水平分量与磁场垂直相交，因而使存在于灭弧室内的部分自由电子在向阳极的运动途中呈螺旋形路线运动，这样，显著增加了电子运动的自由途径，增加了电子动能，使其与其他残余气体分子碰撞发生电离的概率大大增加，从而产生类似雪崩效应的放电过程。放电参数与真空度的关系取决于真空灭弧室的几何尺寸、材料、外部激励（电场和磁场）和内部的真空压力。对某一种灭弧室，其几何尺寸和材料是确定的；而对仪器来说，对真空灭弧室的外部激励是确定的。因此，在真空灭弧室的型号一定时，它的放电参数与真空度有准确的对应关系。