KLA—TENCOR 2800宽带深紫外光明场系统帮助CROLLES2 ALLIANCE

加利福尼亚州圣荷塞讯：KLA-Tencor（NASDAQ：KLAC）日前宣布，由Freescale Semiconductor、STMicroelectronics和Philips Semiconductors三家半导体生产商组成的Φ300mm生产和研发协作约联盟Crolles2 Alliance已采用新型2800宽带DUV明场系统，这是对KLA-Tencor拥有的独特检测能力的认可。Crolles2在其65nm研发和90nm生产合作中采用2800，可检测到影响成品率的关键性缺陷，而采用上一代的检测工具是无法做到这一点的。