FSI国际收到美国领先的IC制造商多套MAGELLAN浸泡式清洗系统订单

FSI国际有限公司日前宣布：一家世界领先的美国IC制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的Φ200／Φ300mm MAGELLAN浸泡式清洗系统，此项订单缘于MAGELLAN系统领先同类产品的微粒去除能力及刻蚀均匀度。该机台将用于芯片生产，预计将于FSI国际的2007财年上半年发运。