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智能化接触式干涉仪

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摘要本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法,即用CCD作为光电转换接收器,代替人眼工作;用单片机自动处理信号,代替手工处理。并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失,反而略有提高。

作者陈吉武汪伟李雁飞亓勇

机构地区中国计量学院浙江大学

出处《上海计量测试》 1996年第5期23-24,共2页 Shanghai Measurement and Testing

关键词 CCD 干涉仪微机

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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参考文献1

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上海计量测试

1996年第5期

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