四次曝光制版技术及其应用

一、前言 在半导体压力传感器研制中,应变电阻的设计方案常采用图1中给出的类型。无论采用哪种设计方案,在刻制电阻时,都要求四个应变电阻的阻值在理论上是一致的。因为四个电阻的一致性直接影响着零点输出,零点温度漂移。