期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响 被引量：2

Influence of Doping Concentration on Temperature Coefficent of Polysilicon Resistance
下载PDF
导出
摘要 本文对多晶硅电阻的温度系数进行了研究,随着掺杂浓度的增大,多晶硅电阻的温室系数从负值变到正值。实验结果可用Seto模型进行解释。 Temperature coefficient of poly-silicon resistance is studied. With doping concentration increasing, The coefficient varies from negative to positive. The experimental results can be illustrated by seto model.
作者 石争 毛赣如
机构地区 天津大学
出处 《传感器技术》 CSCD 1990年第6期10-12,共3页 Journal of Transducer Technology
关键词 掺杂浓度 多晶硅电阻 温度系数
分类号 TM54 [电气工程—电器]
  • 相关文献

同被引文献16

  • 1Lai S L,Ramanath G,Allen L H.Heat capacity measurements of Sn nanostractures using a thin-film differential seanning calorimeter with 0.2nJ sensitivity[J].Appl Phys lett,1997,70(1):43-45.
  • 2Tai Y C,Mastrangelo C H,Muller R S.Thermal conductivity of heavily doped low-pressure chemical vapor deposited polycrystalline silicon films[J].J Appl Phys,1988,63(5):1442-1447.
  • 3Cahill D G,Pohl R O.Thennal conductivity of amorphous solids above the plateau[J].Physical Review B,1987,35(8):4067-4073.
  • 4K(a)ding O W,Skurk H,Goodson K E.Thermal conduction in metallized silicon-dioxide layers on silicon[J].Appl Phys lett,1994,65(13):1629-1631.
  • 5Bai S Y,Tang Z A,Huang Z X,et al.Thermal characterization of Si3N4 thin films using transient thermoreflectance technique[J].IEEE Transactions on Industrial Electronics,2009,56(8):3238-3243.
  • 6Valdes B.Resistivity measurements on germanium for transistors.Instr Radio Engrs,1954 ,42:420-427.
  • 7Rymaszewski R.Empirical metbod of calibrating a 4-point microarry for measuring thin-film-sheet resistance.Electronics Letters,1967 , 3(2):57-58.
  • 8Van der Pauw L J.A method of measuring specific resistivity and hall effect of discs of arbitrary shape.Philips Research Reports,1958 , 13(1):1-9.
  • 9Petersen C L,Hansen T M,Boggild P,et al.Scanning microscopic four-point conductivity probes.Sens Actuators A,2002,96:53-58.
  • 10Sune T,Fei W,Dirch H P.Accurate microfour-point probe sheet resistance measurements on small samples.Review of Scientific Instruments,2009,80:053902-053910.

引证文献2

二级引证文献6

传感器技术
1990年 第6期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部