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一种新颖的容栅数显位移传感器
被引量:
3
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摘要
本文介绍了容栅数显位移传感器(以下称传感器)的主要功能和测量原理,该传感器不仅体积小、功耗低、测量范围大,而且测量速度快,在全行程范围内可进行绝对测量。
作者
刘伟广
王永明
机构地区
上海量具刃具厂
出处
《计量技术》
1996年第8期7-9,30,共4页
Measurement Technique
关键词
容栅传感器
动定栅电极
测量
传感器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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