液晶盒间隙厚度测量仪的激光分振幅干涉定标

本文提出并比较了液晶盒间隙厚度测量仪的三种定标方法，分析表明，激光分振幅干涉法具有准确、稳定、经济、方便、迅速等一系列优点，是最好的定标方法。最后我们作成一光劈并用于实际定标，结果表明定标准确。