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DFM工具有助于实现“光刻友好”布局

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摘要 明导国际(Mentor Graphics)认为,其最新的DFM(可制造性设计,designfor-manufacturing)将对集成电路设计人员设计”光刻友好”的集成电路布局提供帮助。该公司的新型Calibre LFD(光刻友好设计,lithography-friendly design)是一种类似于DRC/LVS(设计规则检查/低压信令,designrule-checking/low—voltage—signaling)的工具。不过,Calibre LFD并不检查布局是否符合设计规则(例如线迹宽度和间距)与早期原理图,而是检查布局是否符合描述给定生产线剂量和焦点的光刻制造规则。该工具集成了与OPCVerify一样的引擎,它采用的是一种类似OPC(光学接近修正,optical-proximitycorrection)的技术,是Mentor在1月份为光刻设计人员推出的。
出处 《电子设计技术 EDN CHINA》 2006年第7期46-46,共1页 EDN CHINA
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