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TFT可采用液态硅旋转涂布工艺生产
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摘要
精工爱普生公司(Seiko Epson)与JSR公司共同开发了一种采用液态涂布和喷墨成形工艺的硅薄膜。这种硅薄膜是一种低温多晶硅TFT(薄膜晶体管),其性能可与采用传统CVD(化学气相沉积)方法生产的薄膜相媲美。这种新型材料是一种氢和硅的高级硅烷混合物,它可以被有机溶剂溶解。
出处
《电子设计技术 EDN CHINA》
2006年第7期46-46,共1页
EDN CHINA
关键词
多晶硅TFT
工艺生产
液态硅
涂布
精工爱普生公司
化学气相沉积
薄膜晶体管
硅薄膜
成形工艺
分类号
TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]
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电子设计技术 EDN CHINA
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