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真空技术的最新动向

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摘要真空技术的最新动向①林主税博士（日本真空技术株式会社）ＮｅｗＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＶａｃｕｕｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＤｒ．ＣｈｉｋａｒａＨａｙａｓｈｉ（ＵＬＶＡＣＵｌｔｉｍａｔｅｉｎＶａｃｕｕｍ）一、要求技术开发的一般因素我认为目前引发或迫切要求技...

作者林主税

机构地区日本真空技术株式会社

出处《真空》 CAS 北大核心 1996年第6期5-8,共4页 Vacuum

关键词真空技术发展综述

分类号 TB7-13 [一般工业技术—真空技术]

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真空

1996年第6期

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