用射频PE—CVD在Si基体上沉积的类金刚石碳膜的摩擦性能
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2李岩,徐绍魁,徐金洲,张菁.常压等离子体增强化学气相沉积纳米晶TiO_2多孔薄膜的研究[J].东华大学学报（自然科学版）,2009,35(1):108-113. 被引量：3
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3陈果,张玲,何小珊,何智兵,唐永建.反式二丁烯与氢气流量比对辉光放电等离子体组分与聚合物薄膜表面粗糙度的影响[J].原子能科学技术,2016,50(9):1658-1663. 被引量：5
