摘要
本文通过大量实验,采用键合及背腐蚀方法研制成功 SOI 光波导,传输损耗仅0.85dB/cm.
Through a lot of experiments,using methods of bonding and etching back,the optical waveguides in SOI structures have been fabricated with propagation loss of 0.85dB/cm.
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第3期252-255,共4页
Acta Photonica Sinica
基金
863计划基金
关键词
集成光学
SOI
光波导
Integrated Optics
SOI
Ootical waveguide
