掩模版度量工具

5700-CDRT作为下一代光学掩模系统同时具有CD-SEM功能、DUV双束激光干涉器和俄歇光谱仪，可以同步进行极化光反射和在DUV-vis-NIR波长范围内完成传输光谱。在193和248nm时，无论测量掩模版的空白区域还是已经图形化的区域，该设备显示出相位偏移测量与干涉器输出之间高度的相关性。同时该系统还能提供膜厚、n和k值以及MOSiON的相位偏移等信息。