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臭氧传感器

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摘要 这种溶解臭氧传感器用于监测半导体纯水处理。连接于该公司的770MAX仪器,具有多达6信道的混合/匹配测量参数。臭氧传感器在正常臭氧化范围或者臭氧破坏后接近零时,都能够实现稳定测量。
出处 《集成电路应用》 2006年第3期37-37,共1页 Application of IC
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