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纳米三坐标测量机的精度设计 被引量:4

Accuracy Design of Nano-CMM
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摘要 利用现代精度设计思想,根据纳米三坐标测量机的结构设计,分析了影响其精度的各项误差源,提出所需检定仪器的具体技术指标;根据给定的精度指标设计合理的精度分配方案,精度设计的结果满足纳米三坐标测量机的测量精度要求。 The error sources affecting precision of the Nano-CMM are analyzed, and the needed nanometer level calibrating instruments' teehnieal index are put forward by using advaneed aeettraey design philosophy and the strueture design of Nano-CMM. The reasonable error distributing design are done aeeording to the given aeeuraey target and the result of aeeuraey design ean meet the required measuring accuracy of the Nano-CMM.
机构地区 合肥工业大学
出处 《工具技术》 北大核心 2006年第7期71-73,共3页 Tool Engineering
基金 国家自然科学基金重大国际合作研究项目(项目编号:50420120134)
关键词 纳米三坐标测量机 精度设计 误差源分析 Nano-CMM, accuracy design, analysis of error source
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参考文献1

共引文献5

同被引文献19

引证文献4

二级引证文献14

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