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紫铜化学抛光的电化学研究 被引量:1

Electrochemical Studies on Chemical Polishing of Copper
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摘要 测定了化学抛光过程中紫铜的表面光反射率、失重、表面形貌和电位随时间的变化以及抛光过程的电流-电位曲线。结果表明,紫铜的化学抛光过程由浸蚀,光亮和过腐蚀三个阶段组成。电抛光的钝化膜理论也同样适用于紫铜的化学抛光. Changes in specular reflectivity,weight loss,surface topograph and potential with time and current-potential curves during chemical polishing were determined.The results showed that chemical polishing was composed of the etching,polishing and pitting stage.The passivating film theory also applied to the chemical polishing.
机构地区 南京大学化学系
出处 《电化学》 CAS CSCD 1996年第3期310-313,共4页 Journal of Electrochemistry
关键词 紫铜 化学抛光 光反射率 表面形貌 电化学 Copper,chemical polishing,Reflectivity,surface topograph
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